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打破美国封锁,中国国产EUV光刻机取得重大突破,这种设备究竟有多重要?中国为何能获得突破?中国又将在何时制造出第一台EUV光刻机?

我们知道,芯片作为电子产品的核心,已经成为迈向高新技术的必需品。而近年来中国高新技术的发展,被西方社会视为“洪水猛兽”,而美国近年来也针对中国打起“科技战”,手段就有对一些科技产品进行禁运,这其中就包括了芯片。但是,中国正在努力解决这个问题。

根据中国新闻网的报道euv光刻机突破,由长春光机所研制的EUV光刻机日前突破核心部件“光学投影物镜”制造关键技术,这代表着中国的EUV光刻机取得了跨越式发展。

提起光刻机,很多人并不陌生,都知道这是制造芯片的必要设备,并且也知道目前荷兰阿斯麦尔实现了该产业的垄断地位。

实际上光刻机也分为很多种,比如上海微电子已经研制出了深紫外线DUV光刻机,能否制造芯片,但是像7纳米甚至3纳米这样的高精度芯片,需要波长更短的极紫外线EUV光刻机,而目前能生产EUV光刻机的,仅有荷兰阿斯麦尔公司。

1999年,阿斯麦尔开始研发 EUV 光刻机,得到当时几大半导体巨头的倾力相助,基本是西方最先进的技术参与了研制,然而EUV 光刻机研制工艺难度极大,原计划在2004年推出EUV 光刻机,但直到 2010 年才研制出首台原型机,并且2016年正式供货,比预计时间晚了十几年。

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据获悉, EUV 光刻机的难点主要集中在光源功率、反射镜系统以及光学透镜等方面,由于生产难度极大,才使得研制计划推迟了那么久。

但正因如此,阿斯麦尔的EUV光刻机被称为是人类科技的巅峰,也由此推动了半导体产业的革命。同时中国半导体产业也在近年来迅速发展,对于EUV光刻机的需求也增加,而唯一的购买渠道就是荷兰阿斯麦尔公司。

2021年上半年,阿斯麦尔一共售出了16台EUV光刻机,卖出24.56亿欧元euv光刻机突破,也就是说一台EUV光刻机售价在1.5亿欧元以上,相当于11.5亿元人民币,这个价格堪比一架豪华的波音787型客机。

然而阿斯麦尔的EUV光刻机还不仅仅是贵的问题,在更多时候属于是有价无市。

据获悉EUV光刻机制造周期极其复杂,光零件就需要10万个,需要依靠全球供应链。一台制造7纳米芯片的光刻机制造周期大约是21个月,而一年的生产数量也是有限的。比如在2019年,阿斯麦尔共制造了30台光刻机。

由于数量有限,要想买到的话就要遵循一些苛刻的条件。比如阿斯麦尔规定,哪家企业对阿斯麦尔的投资更大,就更能拿到购买的优先权,而这其中英特尔、三星和台积电的投资占比占了大多数,具有订单优先权,而像大陆企业订购一台,能在5年时间拿到货就不错了。

不过对于大陆企业而言,真正面临的困难还不是在阿斯麦尔公司本身。

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1996年,美国拉着日本、印度在内的42个国家签订了一份《瓦森纳协定》,该协定旨在控制常规武器和高技术贸易,但实际上《瓦森纳协定》就是被美国所控制,成为了美国用来设置“贸易壁垒”的工具。去年,美国宣布扩大《瓦森纳协定》的管控范围,将半导体材料也加入其中,实际上明眼人都可以看出来,美国此举就是有意打击中国的半导体产业。

不久之后,阿斯麦尔公司也曝出,美国政府向其施压,禁止他们向中国企业出售EUV光刻机,也就是说中国无论花多少钱,都买不到阿斯麦尔的光刻机了。

美国对中国进行的光刻机封锁,效果还是显而易见的。比如在2019年力压苹果取得全球销量第二的国产手机品牌华为,由于被美国实行芯片禁运,而出现芯片荒,如今已经掉出了全球前五。如果说,中国能自行研发高精度芯片,也就不会出现国产企业被美国轻易打压这回事了。

不仅仅是智能手机,在如今信息化时代,航空航天、人工智能、国防建设等领域,哪个能离得了高端芯片?从过去的经验我们知道,当外部对中国进行技术封锁的时候,中国往往选择靠自己打破封锁,这一次的EUV光刻机也不例外,长春光机所也早就开始进行相关技术储备。

长春光机所全称是长春光学精密机械与物理研究所,是中国光学设备技术研究实力最雄厚的一家研究所,始建于1952年。这家研究所称参与过中国的“两弹一星”工程以及“载人航天工程”等多个重大项目,因此研制EUV 光刻机的重任自然落到了长春光机所肩上。

早在2002年,也就是阿斯麦尔研制EUV光刻机的第三年,长春光机所就意识到了这种设备对未来社会发展的必要性。当年,长春光机所便研制出中国第一套EUV光刻原理装置。

2016年,长春光机所又成功研制出波像差优于0.85纳米 RMS的两镜EUV光刻物镜系统。

2017年,32纳米线宽的13.5纳米极紫外光EUV光刻曝光系统通过验收,为研制高端EUV光刻机打下基础。

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因此今天中国EUV光刻机的突破并不是偶然性事件,而是经过了近20年的耕耘,所谓皇天不负有心人。当中国研制出一台属于自己的光刻机时,美国封锁便宣告失败,那这又需要多久呢?荷兰人倒是给出了答案。

在不久前举办的2021年中国企业未来发展论坛上,北京大学经济研究院院长林毅夫就转述了荷兰阿斯麦尔总裁彼得.温尼克的一段话:

若不把光刻机卖给中国,最多3年后,中国将掌握这项技术,而只要中国掌握这个技术,生产成本就会十分低廉,那时阿斯麦尔可能就退出了世界光刻机市场了。

另外温尼克还警告:中国本身就是一个庞大的市场,与中国市场脱节就是与经济过不去,如果“敏感科技”输出上对中国上管太严,最终拖累的将是欧洲产业。真正要在技术上一直领先中国的话,需要的是创新,而不是限制。

可见对于美国封锁中国光刻机,即使是荷兰公司也是很不满意的,一方面这项政策完全是为美国政府利益服务,对于阿斯麦尔公司而言只是失去了订单,得不偿失。另一方面,中国屡次依靠技术攻克打破封锁,导致西方企业最终在市场落败的事例,也让不少西方企业认识到中国的确是有技术潜力的,一昧去封锁搞不好会倒逼中国技术进步,让自己失去优势。

而对于中国而言,挑战与机遇并存,能否抓住机会一举打破封锁,也关乎着中国的未来!(子文)

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